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一种冷却循环系统，包括冷剂箱、闭式散热装置和制冷机，冷却循环系统与工艺装置的冷剂进口和冷剂出口相连通；还包括第一温度传感器、第二温度传感器和第三温度传感器，第一温度传感器用于监测冷剂箱的冷剂温度，第二温度传感器用于监测冷剂出口中的进冷温度，...
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