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一种磷硅镉多晶料的高压合成装置及方法制造方法及图纸
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文档序号:24442646
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本发明提供了一种磷硅镉多晶料的高压合成装置及方法,所述装置包括合成料舟、可密封石英管、高压炉体、温度控制单元、压力控制单元;所述高压炉体包括外壳、加热元件、高压炉管,所述加热元件与外壳之间设置有保温层,所述高压炉管开口端配有法兰,另一端封口...
该专利属于山东大学所有,仅供学习研究参考,未经过山东大学授权不得商用。
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