下载一种晶体制备装置的技术资料

文档序号:24442630

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本申请提供一种晶体制备装置。所述晶体制备装置包括:生长腔体,用于放置籽晶和源材料;加热组件,用于加热所述生长腔体;温度补偿组件,用于在晶体生长过程中提供温度补偿,其中,所述温度补偿组件位于所述生长腔体上表面或下表面,所述温度补偿组件包括至少...
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