下载单晶硅等径生长的控制方法、设备及存储介质的技术资料

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本公开提供一种单晶硅等径生长的控制方法、设备及存储介质,涉及晶体制造技术领域,能够能够自动调整晶体等径生长的控制力度,进而更好的控制晶体直径。具体技术方案为:获取第i个循环周期的PID初始值;对第i个循环周期的PID初始值进行修正,得到第i...
该专利属于隆基绿能科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过隆基绿能科技股份有限公司授权不得商用。

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