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本发明公开了一种高通量单晶生长装置，包括驱动机构、真空机构、控制系统、加热机构和样品舱；驱动机构包括升降组件和转动组件；转动组件固定在升降组件上，并且样品舱与转动组件可拆卸连接，样品舱在转动组件的带动下沿自身轴线转动，转动组件在升降组件的带...
该专利属于曲靖师范学院所有，仅供学习研究参考，未经过曲靖师范学院授权不得商用。

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