【技术实现步骤摘要】
一种高通量单晶生长装置
本专利技术涉及单晶样品制备
，更具体的说是涉及一种高通量单晶生长装置。
技术介绍
目前，现代科学技术研究，新材料的发展是新技术发展的重要标志。功能材料是新材料发展的重中之重。在功能材料的研究中，晶体材料又占有相当重要的位置。由于晶体材料具有一系列宝贵的物理性能，如它能实现电、磁、力、光、声和热的交互作用和转换，而使它成为现代科学技术中不可缺少的重要材料，并且它的应用范围和使用量还在不断扩大和增加。晶体垂直生长法常见的是布里奇曼晶体生长法。待生长晶体材料装在圆柱型的坩埚中，缓慢地下降，并通过一个具有一定温度梯度的加热炉，炉温控制在略高于材料的熔点附近。根据材料的性质加热器件可以选用电阻炉或高频炉。在通过加热区域时，坩埚中的材料被熔融，当坩埚持续下降时,坩埚底部的温度先下降到熔点以下，并开始结晶，晶体随坩埚下降而持续长大。坩埚穿过温度梯度时要求移动速度非常的慢(通常小于1mm/h)，普通的步进电机无法满足要求；基于此申请人已搭建了一种晶体垂直自动化生长装置，并于2016年11月提交了国家专利...
【技术保护点】
1.一种高通量单晶生长装置，其特征在于，包括驱动机构、真空机构、控制系统(3)、加热机构(4)和样品舱(5)；/n所述驱动机构包括升降组件(10)和转动组件(11)；所述转动组件(11)固定在所述升降组件(10)上，并且所述样品舱(5)与所述转动组件(11)可拆卸连接，所述样品舱(5)在所述转动组件(11)的带动下沿自身轴线转动，所述转动组件(11)在所述升降组件(10)的带动下做升降运动；/n所述真空机构包括真空泵(20)、气体钢瓶(21)、真空计(22)；所述真空泵(20)和所述气体钢瓶(21)均通过管路与所述样品舱(5)连通；并在靠近所述真空泵(20)、所述气体钢瓶(...
【技术特征摘要】
1.一种高通量单晶生长装置，其特征在于，包括驱动机构、真空机构、控制系统(3)、加热机构(4)和样品舱(5)；
所述驱动机构包括升降组件(10)和转动组件(11)；所述转动组件(11)固定在所述升降组件(10)上，并且所述样品舱(5)与所述转动组件(11)可拆卸连接，所述样品舱(5)在所述转动组件(11)的带动下沿自身轴线转动，所述转动组件(11)在所述升降组件(10)的带动下做升降运动；
所述真空机构包括真空泵(20)、气体钢瓶(21)、真空计(22)；所述真空泵(20)和所述气体钢瓶(21)均通过管路与所述样品舱(5)连通；并在靠近所述真空泵(20)、所述气体钢瓶(21)和所述样品舱(5)的气口端安装阀门(23)；
所述加热机构(4)适配安装在所述样品舱(5)的下方；
所述控制系统(3)分别与所述加热机构(4)、所述升降组件(10)和所述转动组件(11)的控制部电连接。
2.根据权利要求1所述的一种高通量单晶生长装置，其特征在于，所述升降组件(10)包括固定底座(100)、导轨支架(101)、丝杠导轨部(102)、探测臂(103)和第一电机(104)；
所述丝杠导轨部(102)包括丝杠、滑杆和滑块；
所述导轨支架(101)、所述丝杠和所述滑杆的一端固定在所述固定底座(100)的顶部端面，与所述固定底座(100)垂直；所述支架的另一端设有支撑板，所述丝杠的另一端与所述支撑板转动连接，所述滑杆的另一端与所述支撑板固定连接；所述滑块与所述丝杠和所述滑杆适配连接；所述第一电机(104)固定在所述导轨支架(101)上，与所述控制系统(3)电连接，其输出轴与所述丝杠固定连接；
所述探测臂(103)与所述滑块固定连接，所述转动组件(11)安装在所述探测臂(103)上，所述第一电机(104)带动所述丝杠转动，所述滑块沿所述丝杠做升降运动，带动所述转动组件(11)和所述样品舱(5)运动。
3.根据权利要求2所述的一种高通量单晶生长装置，其特征在于，所述转动组件(11)包括第二电机(110)、辅助支撑板(111)和锥齿轮组(112)；所述辅助支撑板(111)为相互垂直的两块板拼接组成；
所述锥齿轮组(112)为相互啮合的一对锥...
【专利技术属性】
技术研发人员：曹义明，康艳茹，何禧佳，徐坤，李哲，张元磊，魏生贤，刘冕，
申请(专利权)人：曲靖师范学院，
类型：发明
国别省市：云南;53
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