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本发明公开了一种新型氧化锌材料的制备方法,该方法包括如下步骤:取蓝宝石基片作为生长衬底,并对其进行清洗;选用ZnO作为靶材,采用了脉冲激光沉积技术,通入氧气流,并控制在特定温度下生长一段时长,待生长结束后,自然冷却至室温,便得到ZnO籽晶层...该专利属于广州特种承压设备检测研究院所有,仅供学习研究参考,未经过广州特种承压设备检测研究院授权不得商用。
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本发明公开了一种新型氧化锌材料的制备方法,该方法包括如下步骤:取蓝宝石基片作为生长衬底,并对其进行清洗;选用ZnO作为靶材,采用了脉冲激光沉积技术,通入氧气流,并控制在特定温度下生长一段时长,待生长结束后,自然冷却至室温,便得到ZnO籽晶层...