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研磨垫及其制备方法和应用技术
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文档序号:24432690
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本发明公开了研磨垫及其制备方法和应用。本发明研磨垫包括研磨层、透明基板、第一粘结剂层、弹性层和第二粘结剂层;其中,从上至下依次为研磨层、透明基板、第一粘结剂层、弹性层和第二粘结剂层;所述的研磨层由金刚石磨料、结合剂和辅料制成,该辅料中含有氯...
该专利属于于洋所有,仅供学习研究参考,未经过于洋授权不得商用。
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