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本发明提出了一种多脉冲皮秒激光诱导半导体材料表面周期性结构的方法，包括：单面抛光的半导体材料；将激光从半导体材料抛光面垂直入射，在半导体材料表面被吸收，在半导体材料抛光面一侧表面形成LIPSS。通过本发明制得LIPSS能够改变材料的润湿特性...
该专利属于南京理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过南京理工大学授权不得商用。

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