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通过反向散射粒子对掩埋特征的检测制造技术
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下载通过反向散射粒子对掩埋特征的检测的技术资料
文档序号:24421776
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本文中公开了用于使用反向散射粒子检测掩埋特征的设备(100)和方法。在一个示例中,该设备包括:带电粒子的源;平台(30);被配置为将带电粒子的射束引导到平台上支撑的样本(9)的光学器件(16);被配置为检测来自样本的射束中的带电粒子的反向散...
该专利属于ASML荷兰有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过ASML荷兰有限公司授权不得商用。
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