温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
一种用于吹扫工艺腔室(1)的方法，该方法至少包括以下步骤：a)将最初包含在该工艺腔室(1)内的气体的温度至少升高到第一温度，b)将处于第二温度的吹扫气体引入该工艺腔室(1)中，其中，该第一温度高于该第二温度。使用所提供的方法，可以使用比如氮...该专利属于乔治洛德方法研究和开发液化空气有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过乔治洛德方法研究和开发液化空气有限公司授权不得商用。
温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
一种用于吹扫工艺腔室(1)的方法，该方法至少包括以下步骤：a)将最初包含在该工艺腔室(1)内的气体的温度至少升高到第一温度，b)将处于第二温度的吹扫气体引入该工艺腔室(1)中，其中，该第一温度高于该第二温度。使用所提供的方法，可以使用比如氮...