下载反向电压40V或60V桥式整流电路的集成制作方法的技术资料

文档序号:24415095

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本发明是一种反向电压40V或60V桥式整流电路的集成制作方法,步骤为:a、衬底硅片清洗b、初始氧c、埋层光d、注入砷e、砷退火f、漂片g、清洗:h、初始氧化i、下隔离光刻j、注入硼,k、下隔离推结m、漂片n、清洗o、外延,P、衬底硅片清洗Q...
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