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本发明公开了III族氮化物器件以及制造用于III族氮化物基器件的欧姆接触部的方法。在实施例中，一种III族氮化物器件包括多层III族氮化物结构以及第一欧姆接触部，所述第一欧姆接触部被布置在多层III族氮化物器件结构上并且形成与多层III族氮...
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