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本发明涉及硅片承载工具技术领域，尤其涉及一种防止硅片粘连的硅片承载器，包括承载器框架，所述承载器框架的立面设有多个纵向齿，相邻的纵向齿之间形成纵向卡位，所述承载器框架的底部设有多个卡槽；所述卡槽与所述纵向卡位一一对应，多个所述卡槽的最低点均...
该专利属于北京市塑料研究所所有，仅供学习研究参考，未经过北京市塑料研究所授权不得商用。

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