下载一种厚干膜显影工艺的技术资料

文档序号:24408050

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本发明公开了一种厚干膜显影工艺,首先将干膜显影槽用去离子水清洗干净;其次向干膜显影槽中加入干膜显影剂;接着将待显影的基片可拆卸地与支撑框连接;然后将支撑框连同基片送入显影槽内的传送滚轮,喷淋浸泡;最后显影结束之后,取出已显影的基片,清洗干净...
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