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本发明属于光刻技术领域，具体的说是一种光刻机运动台系统和光刻机，包括基座和基座上的工作台，工作台与基座之间设有随动台，随动台一侧固连有反光板，基座上方两侧对称设有一号支架与二号支架，一号支架上安装有倾斜向下的激光发射器，二号支架上与激光发射...
该专利属于夏冬所有，仅供学习研究参考，未经过夏冬授权不得商用。

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