下载一种用于自由曲面测量的可变形镜面形设计方法及装置的技术资料

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一种用于自由曲面测量的可变形镜面形设计方法及装置,其能够解决部分补偿法中可变形镜面形约束的问题,在标定的可变形镜变形范围内,实现对自由曲面面形的高精度检测。方法包括:(1)建立基于可变形镜的自由曲面测量系统的光学模型;(2)基于光线追迹原理...
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