下载一种有槽热板温度梯度离子扩散制作玻璃基掩埋式模斑转换器的方法的技术资料

文档序号:24407590

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本发明公开了一种有槽热板温度梯度离子扩散制作玻璃基掩埋式模斑转换器的方法,包括两个环节:第一个环节用离子交换法在玻璃基片(1)的表面制作掩埋条形离子掺杂区(8);第二个环节是将玻璃基片(1)竖直放置在有槽热板(5)上的凹槽内进行梯度温度离子...
该专利属于浙江大学深圳研究院所有,仅供学习研究参考,未经过浙江大学深圳研究院授权不得商用。

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