专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
浙江大学深圳研究院
>
一种有槽热板温度梯度离子扩散制作玻璃基掩埋式模斑转换器的方法技术
>技术资料下载
下载一种有槽热板温度梯度离子扩散制作玻璃基掩埋式模斑转换器的方法的技术资料
文档序号:24407590
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明公开了一种有槽热板温度梯度离子扩散制作玻璃基掩埋式模斑转换器的方法,包括两个环节:第一个环节用离子交换法在玻璃基片(1)的表面制作掩埋条形离子掺杂区(8);第二个环节是将玻璃基片(1)竖直放置在有槽热板(5)上的凹槽内进行梯度温度离子...
该专利属于浙江大学深圳研究院所有,仅供学习研究参考,未经过浙江大学深圳研究院授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。