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本发明公开了一种轴向差动暗场共焦显微测量装置及其方法，该装置包括环形光照明模块、环形光扫描模块和差动共焦探测模块；通过照明光束整形与互补孔径遮挡探测，有效分离样品反射信号与散射信号，获取纳米级亚表面裂痕、气泡等缺陷的三维分布信息；通过差动共...该专利属于哈尔滨工业大学;南京恒锐精密仪器有限公司;江苏锐精光电研究院有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过哈尔滨工业大学;南京恒锐精密仪器有限公司;江苏锐精光电研究院有限公司授权不得商用。