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本申请公开了一种MEMS压阻传感器的内建自测试装置及自测试方法，所述MEMS压阻传感器的内建自测试装置在对MEMS压阻传感器进行测试时，无需对MEMS压阻传感器施加物理激励即可实现传感器灵敏度的测量与计算，简化了MEMS压阻传感器的测试过程...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

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