下载分布式面阵薄片成像系统的技术资料

文档序号:24405323

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一种分布式面阵薄片成像系统,包括分布式面阵透镜阵列、微纳光子集成器件、线性探测器阵列和图像重构算法,其中,分布式面阵透镜阵列为辐射状线性排布方式,在每条线性阵列后端透镜焦平面空间耦合微纳光子集成器件,其中所述微纳光子集成器件将各透镜耦合光分...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

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