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一种双真空通道式真空台板制造技术
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下载一种双真空通道式真空台板的技术资料
文档序号:24400233
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本实用新型涉及一种双真空通道式真空台板,其特征在于:包括干燥平台和设置在干燥平台两侧的真空通道;本实用新型中通过在干燥台板的两侧分别设置真空通道,通过两侧分别设置独立的真空通道和排污真空通道,保证了真空台板在进行抽真空和排污的工序中实现独立...
该专利属于南通思瑞机器制造有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过南通思瑞机器制造有限公司授权不得商用。
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