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基板切割装置制造方法及图纸
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下载基板切割装置的技术资料
文档序号:24395890
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根据本发明实施例的基板切割装置可以包括:划片单元,能够在基板上形成划线;第一装载台,将所述基板传送到所述划片单元;夹具模块,构成为把持所述基板,并沿所述基板的传送方向移动;第二装载台,配置在所述划片单元的下游侧,并包括接收通过所述划片单元形...
该专利属于塔工程有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过塔工程有限公司授权不得商用。
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