下载一种软体机器人驱动器的技术资料

文档序号:24393712

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本发明公开了一种软体机器人驱动器,包括阀体、主通道、上隔板、平衡腔、旁通道、隔膜、控制腔、下隔板和副通道。主通道与副通道通过旁通道连接在一起,主通道与平衡腔通过上隔板分开,平衡腔与控制腔通过隔膜分开,副通道与控制腔通过下隔板分开;隔膜为双稳...
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