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本实用新型公开了一种等离子体CVD装置的腔内台升降机构，机架的工作平台上设有等离子腔，等离子腔下端的开口处设有腔体法兰，工作平台下方的机架上竖直设有导轨，升降机构包括设置在导轨上由电机驱动的升降座，升降座的一侧设有水平结构的升降台，升降台上...
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