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本实用新型公开了一种化学气相沉积镀膜设备布气装置，包括布气盒、上层布气管、下层布气管，布气盒为由真空室盖板、布气框以及靠近基片侧的布气板组成的一个封闭盒体，上层布气管、下层布气管均由进气管、方通管、导流管道组成，进气管穿过一侧布气框与设置在...
该专利属于湖南玉丰真空科学技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过湖南玉丰真空科学技术有限公司授权不得商用。

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