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本实用新型涉及金刚石薄膜技术领域，且公开了一种金刚石薄膜生长气路结构，包括金刚石生长室，所述金刚石生长室的上方设置有第一连接管,所述第一连接管的左右两侧均连通有第二连接管，右侧的所述第二连接管上设置有截止阀A，所述第二连接管的底端连通有CH...
该专利属于洛阳奥尔材料科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过洛阳奥尔材料科技有限公司授权不得商用。

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