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本实用新型公开了一种用于等离子清洗机的料盒载台结构，包括滑轨组件、载台、驱动机构、料盒和卡固组件，滑轨组件包括滑轨安装架以及安装在滑轨安装架一侧的竖直滑轨，载台滑动安装于竖直滑轨；驱动机构用于驱动载台沿竖直滑轨滑动，若干个料盒并列安放在载台...
该专利属于江苏胜辉半导体设备有限公司;张春辉所有，仅供学习研究参考，未经过江苏胜辉半导体设备有限公司;张春辉授权不得商用。

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