用于等离子清洗机的料盒载台结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于等离子清洗机的料盒载台结构，包括滑轨组件、载台、驱动机构、料盒和卡固组件，滑轨组件包括滑轨安装架以及安装在滑轨安装架一侧的竖直滑轨，载台滑动安装于竖直滑轨；驱动机构用于驱动载台沿竖直滑轨滑动，若干个料盒并列安放在载台的顶板上，卡固组件包括第一卡条、第二卡条和锁定件，第一卡条固抵在各料盒一端的底部并固定定于载台上，第二卡条抵在各料盒另一端的底部，第二卡条的内侧连接有至少两根导向杆，导向杆穿过载台的侧板并与其导向连接，锁定件用于将导向杆与载台锁死。本实用新型专利技术解决了现有的等离子清洗机存在料盒安装拆卸麻烦、位置不固定容易发生偏移的问题，且能够适用于不同长度料盒的固定。

Structure of material box carrier for plasma cleaning machine

【技术实现步骤摘要】
用于等离子清洗机的料盒载台结构
本技术涉及半导体加工制造
，具体涉及一种用于等离子清洗机的料盒载台结构。
技术介绍
引线框架作为集成电路的芯片载体，是一种借助于键合材料(金丝、铝丝、铜丝)实现芯片内部电路引出端与外引线的电气连接，形成电气回路的关键结构件，它起到了和外部导线连接的桥梁作用，绝大部分的半导体集成块中都需要使用引线框架，是电子信息产业中重要的基础材料。在半导体制造加工过程中会在引线框架上遗留溢胶、氧化物等污染物，影响焊线效果，因此需要等离子清洗机清洗该污染物。然而，等离子清洗机在工作中需要经常更换料盒，料盒需要经常安装和拆卸，现有的等离子清洗机存在料盒安装拆卸麻烦，位置不固定容易发生偏移的问题，且无法适用于不同长度料盒的固定。
技术实现思路
针对现有技术中的缺陷，本技术提供了一种用于等离子清洗机的料盒载台结构，以解决现有的等离子清洗机存在料盒安装拆卸麻烦、位置不固定容易发生偏移的问题，且能够适用于不同长度料盒的固定。本技术提供了一种用于等离子清洗机的料盒载台结构，包括：滑轨组件，所述滑轨组件包括滑轨安装本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于等离子清洗机的料盒载台结构，其特征在于，包括：/n滑轨组件，所述滑轨组件包括滑轨安装架以及安装在所述滑轨安装架一侧的竖直滑轨；/n载台，所述载台包括相对设置的两块侧板、连接于两块所述侧板侧端的端板以及连接于两块所述侧板顶端的顶板，所述端板的外侧设置有滑块，所述滑块滑动安装于所述竖直滑轨；/n驱动机构，所述驱动机构用于驱动所述载台沿所述竖直滑轨上下滑动；/n料盒，所述料盒为前后开口的盒体，若干个所述料盒并列安放在所述载台的顶板上；/n以及卡固组件，所述卡固组件包括第一卡条、第二卡条和锁定件，所述第一卡条固抵在各所述料盒一端的底部并固定定于所述载台上，所述第二卡条抵在各所述料盒另一端的...

【技术特征摘要】
1.一种用于等离子清洗机的料盒载台结构，其特征在于，包括：
滑轨组件，所述滑轨组件包括滑轨安装架以及安装在所述滑轨安装架一侧的竖直滑轨；
载台，所述载台包括相对设置的两块侧板、连接于两块所述侧板侧端的端板以及连接于两块所述侧板顶端的顶板，所述端板的外侧设置有滑块，所述滑块滑动安装于所述竖直滑轨；
驱动机构，所述驱动机构用于驱动所述载台沿所述竖直滑轨上下滑动；
料盒，所述料盒为前后开口的盒体，若干个所述料盒并列安放在所述载台的顶板上；
以及卡固组件，所述卡固组件包括第一卡条、第二卡条和锁定件，所述第一卡条固抵在各所述料盒一端的底部并固定定于所述载台上，所述第二卡条抵在各所述料盒另一端的底部，第二卡条的内侧连接有至少两根导向杆，所述导向杆穿过该侧的侧板并与其导向连接，所述锁定件用于将所述导向杆与载台锁死。


2.根据权利要求1所述的用于等离子清洗机的料盒载台结构，其特征在于，所述竖直滑轨左右对称设置有两个，对应的所述滑块也左右对称设置有两个。


3.根据权利要求2所述的用于等离子清洗机的料盒载台结构，其特征在于，所述驱动机构包括电机和丝杆，两个所述滑块...

【专利技术属性】
技术研发人员：张春辉，
申请(专利权)人：江苏胜辉半导体设备有限公司，张春辉，
类型：新型
国别省市：江苏;32