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一种高电容结构的阵列基板制造技术
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下载一种高电容结构的阵列基板的技术资料
文档序号:24366715
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本实用新型公开一种具有高电容结构的阵列基板,包括:在阵列基板上设置有缓冲层,在缓冲层上设置有孔,孔外的缓冲层上设置有薄膜场效应晶体管;在孔内及孔与孔之间缓冲层的面上依次设置有第一电极、第一电极绝缘层、第二电极、第二电极绝缘层和第三电极,第一...
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