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具有高度梯度的微通道结构制造技术
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文档序号:24366627
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本实用新型公开一种具有高度梯度的微通道结构,包括基板,所述基板内设有第一级通道、第二级通道、···、第N级通道,N≧3,所述第二级通道包括从所述第一级通道分支出来的多个,所述第N级通道从第N‑1级通道上分支出,所述第一级通道、···、第N级...
该专利属于湖南昇微新材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过湖南昇微新材料有限公司授权不得商用。
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