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一种方法包括：提供包括载体晶圆和第一设备晶圆的结构，粘附层在载体晶圆和第一设备晶圆之间；以及在结构中形成多个第一消融结构，多个第一消融结构中的每一者穿过第一设备晶圆、粘附层和载体晶圆的一部分延伸。多个第一消融结构中的每一者具有在载体晶圆内部...
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