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本发明涉及电机(LD)，包括：静止部(STP)，静止部(STP)包括一行线圈组件(UCA、LCA)，线圈组件具有多个相位；可移动部(MP)，其包括一行永磁体(UPM、LPM)，其中一行线圈组件具有第一长度、并且一行永磁体具有第二长度，其中第...
该专利属于ASML荷兰有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过ASML荷兰有限公司授权不得商用。

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