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文档序号:24365839
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本申请公开了一种用于入射辐射的压缩感测的掩模,该掩模包括:由调制感兴趣的入射辐射的强度的材料形成的主体。主体具有多个掩膜孔口区域,每个掩膜孔口区域包括至少一个掩膜孔口,该掩膜孔口相对于相应掩膜孔口区域的其他部分允许辐射的更高的透射,该相对透...
该专利属于澳大利亚核科学和技术组织所有,仅供学习研究参考,未经过澳大利亚核科学和技术组织授权不得商用。
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