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本发明的目的在于防止反应装置的集管(40)中的应力腐蚀开裂。本发明提供一种用于金属硅粉与氯化氢气体反应而生成三氯硅烷的反应装置，所述反应装置具备冷却器(70)，所述冷却器包含多个热介质管(30)和集管(40)，所述多个热介质管设置在反应装置...
该专利属于株式会社德山所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社德山授权不得商用。

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