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本发明提供了一种MEMS麦克风。本发明的MEMS麦克风,包括具有封装腔体的壳体以及MEMS芯片和ASIC芯片,所述MEMS麦克风还包括覆盖于所述声学通孔的导电防尘网、与所述导电防尘网固定连接的第一接地焊盘以及设置于所述基板外表面且与外部电路...该专利属于瑞声声学科技(深圳)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过瑞声声学科技(深圳)有限公司授权不得商用。
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