下载一种液晶成像光刻装置的技术资料

文档序号:24360539

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本实用新型涉及一种液晶成像光刻装置,包括机体,所述机体内部上下方向依次安装有曝光光源、平行光聚焦透镜、冷空气流动层、LCD液晶屏和光刻面板,其中,所述光刻面板上表面贴敷有均匀覆盖膜胶层,所述冷空气流动层与所述LCD液晶屏之间设有滤波片,所述...
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