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本实用新型公开了一种光刻胶涂布装置。所述光刻胶涂布装置包括:转轴、涂布平台和转筒,所述涂布平台水平设置并能够绕所述转轴转动,以带动放置在所述涂布平台上的玻璃基板旋转,所述转筒包括从内朝外向下倾斜设置的筒底、设置在所述筒底外沿的筒壁以及设置在...该专利属于甘肃华隆芯材料科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过甘肃华隆芯材料科技有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种光刻胶涂布装置。所述光刻胶涂布装置包括:转轴、涂布平台和转筒,所述涂布平台水平设置并能够绕所述转轴转动,以带动放置在所述涂布平台上的玻璃基板旋转,所述转筒包括从内朝外向下倾斜设置的筒底、设置在所述筒底外沿的筒壁以及设置在...