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本实用新型公开了一种用于旋涂光刻胶的旋涂仪，属于微加工装置领域，包括旋涂箱，所述旋涂箱内设置有静电吸附支撑台，所述静电吸附支撑台的底部设置有旋转驱动机构，所述静电吸附支撑台的上部设置有滴胶管，所述滴胶管延伸至所述旋涂箱的外侧，所述旋涂箱外侧...
该专利属于甘肃华隆芯材料科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过甘肃华隆芯材料科技有限公司授权不得商用。

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