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昆山龙腾光电股份有限公司
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薄膜晶体管阵列基板及其制作方法技术
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文档序号:24358977
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本发明提供一种薄膜晶体管阵列基板及其制作方法,通过沉积第一透明导电薄膜后,形成覆盖第一透明导电薄膜的第二绝缘层,并依次对第二绝缘层和第一透明导电薄膜进行图案化,在对应每个TFT的接触孔的位置去除第二绝缘层和第一透明导电薄膜,以形成公共电极和...
该专利属于昆山龙腾光电股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过昆山龙腾光电股份有限公司授权不得商用。
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