下载薄膜晶体管阵列基板及其制作方法的技术资料

文档序号:24358977

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本发明提供一种薄膜晶体管阵列基板及其制作方法,通过沉积第一透明导电薄膜后,形成覆盖第一透明导电薄膜的第二绝缘层,并依次对第二绝缘层和第一透明导电薄膜进行图案化,在对应每个TFT的接触孔的位置去除第二绝缘层和第一透明导电薄膜,以形成公共电极和...
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