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本发明公开了一种腔室用升降机构和半导体处理设备。升降机构包括第一固定件、直线模组、串接件、至少一个升降组件以及至少一个安装件，第一固定件用于分别连接腔室和直线模组，串接件分别连接各所述安装件和所述直线模组，各所述安装件还与对应的所述升降组件...
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