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一种边缘整齐、光滑的图案化薄膜电极材料生长方法技术
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文档序号:24358851
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本发明涉及一种边缘整齐、光滑的图案化薄膜电极材料生长方法,涉及微纳电子器件制备领域。解决现有技术中3D打印方法图案化薄膜电极材料边界不光滑、不整齐的技术问题。本发明提供的边缘整齐、光滑的图案化薄膜电极材料生长方法,其是采用3D打印方法与光刻...
该专利属于吉林建筑大学所有,仅供学习研究参考,未经过吉林建筑大学授权不得商用。
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