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本发明公开了一种沉积多晶硅表面颗粒质量改善方法，具体包括如下步骤：(1)选用炉管加热装置；(2)通入净化气体N...
该专利属于北京大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京大学授权不得商用。

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