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多任务清洗装置制造方法及图纸
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文档序号:24357414
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本实用新型提供了一种多任务清洗装置,所述多任务清洗装置包括壳体,壳体表面设置有液体输入端口、气体输入端口及至少两个输出端口;壳体内设置有气体总管道和液体总管道,液体总管道的一端连接液体输入端口,另一端与多个第一支管道的输入端连接,气体总管道...
该专利属于德淮半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过德淮半导体有限公司授权不得商用。
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