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一种喷嘴及清洗装置，所述喷嘴用于清洗目标清洗物，包括内管，所述内管具有第一管口和第一接口，所述内管中具有位于所述第一管口和所述第一接口之间的第一通道，第一接口位于第一通道的端部；套设于所述内管外侧的外管，所述外管中具有位于所述外管的内壁和所...该专利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司授权不得商用。