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一种酸扩散抑制剂及其制备方法与光刻胶组合物技术
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下载一种酸扩散抑制剂及其制备方法与光刻胶组合物的技术资料
文档序号:24351459
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本发明属于高分子聚合物技术领域,提供了一种酸扩散抑制剂,其是以(甲基)丙烯酸酯为结构单元,在其中引入含醚键的碱性基团形成的聚合物树脂,解决了光刻胶中高分子化合物和酸抑制剂的互溶性不匹配,成膜能力差,出现光刻胶膜脆裂、剥落等的问题,可以控制非...
该专利属于宁波南大光电材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过宁波南大光电材料有限公司授权不得商用。
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