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本发明公开了一种跨温区电子/离子致解吸和二次电子产额综合测试装置，包括标准真空室、第一涡轮分子泵及机械泵机组、标准气体管道、真空截止阀、真空测试腔体、样品架、电子枪、离子枪、离子泵、第二涡轮分子泵及机械泵机组、用于检测样品架上样品表面温度的...
该专利属于西安交通大学;西安核理科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过西安交通大学;西安核理科技有限公司授权不得商用。

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