一种跨温区电子/离子致解吸和二次电子产额综合测试装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种跨温区电子/离子致解吸和二次电子产额综合测试装置，包括标准真空室、第一涡轮分子泵及机械泵机组、标准气体管道、真空截止阀、真空测试腔体、样品架、电子枪、离子枪、离子泵、第二涡轮分子泵及机械泵机组、用于检测样品架上样品表面温度的温度测试仪、用于检测真空测试腔体内真空度的第一复合真空计、用于检测样品架上样品表面电流信号的电流表、用于检测标准真空室内真空度的第二复合真空计以及用于调节样品架上样品温度的温度调节系统，该装置能够实现跨温区的电子/离子致解吸产额和二次电子产额的同时测试。

A comprehensive test device for electron / ion desorption and secondary electron yield in the cross temperature region

【技术实现步骤摘要】
一种跨温区电子/离子致解吸和二次电子产额综合测试装置
本专利技术涉及一种测试装置，具体涉及一种跨温区电子/离子致解吸和二次电子产额综合测试装置。
技术介绍
新一代粒子加速器多采用超导磁铁，这意味着磁体需要低温系统来维持超导磁铁所需的低温。位于低温磁铁内的真空束流管道也在低温下工作。真空管道中材料在低温下的电子/离子致解吸产额会直接影响真空管道内的真空度。因此，对低温真空环境中材料的电子/离子致解吸产额进行测试非常重要。此外，由于电子云效应可能会影响低温真空管道内束流的稳定性，甚至造成粒子加速器真空管道内束流的崩溃，严重时可影响加速器的运行。因此，对低温真空环境中材料的二次电子产额测试也非常重要。以往的材料电子/离子致解吸产额测试装置和二次电子产额测试装置是分开独立的测试装置，测试效率低，测试过程复杂，测试周期长，装置的制造和加工成本高，无法将材料表面的二次电子产额和相同表面吸附状态下的电子/离子致解吸产额进行系统研究。
技术实现思路
本专利技术的目的在于克服上述现有技术的缺点，提供了一种跨温区电子/离子致解吸和二次电本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种跨温区电子/离子致解吸和二次电子产额综合测试装置，其特征在于，包括标准真空室(1)、第一涡轮分子泵及机械泵机组(5)、标准气体管道(6)、真空截止阀(7)、真空测试腔体(21)、样品架(17)、电子枪(8)、离子枪(22)、离子泵(15)、第二涡轮分子泵及机械泵机组(16)、用于检测样品架(17)上样品表面温度的温度测试仪(3)、用于检测真空测试腔体(21)内真空度的第一复合真空计(10)、用于检测样品架(17)上样品表面电流信号的电流表(12)、用于检测标准真空室(1)内真空度的第二复合真空计(20)以及用于调节样品架(17)上样品温度的温度调节系统；/n第一涡轮分子泵及机械泵机组(...

【技术特征摘要】
1.一种跨温区电子/离子致解吸和二次电子产额综合测试装置，其特征在于，包括标准真空室(1)、第一涡轮分子泵及机械泵机组(5)、标准气体管道(6)、真空截止阀(7)、真空测试腔体(21)、样品架(17)、电子枪(8)、离子枪(22)、离子泵(15)、第二涡轮分子泵及机械泵机组(16)、用于检测样品架(17)上样品表面温度的温度测试仪(3)、用于检测真空测试腔体(21)内真空度的第一复合真空计(10)、用于检测样品架(17)上样品表面电流信号的电流表(12)、用于检测标准真空室(1)内真空度的第二复合真空计(20)以及用于调节样品架(17)上样品温度的温度调节系统；
第一涡轮分子泵及机械泵机组(5)与标准真空室(1)相连通，标准气体管道(6)与标准真空室(1)相连通，标准真空室(1)经真空截止阀(7)与真空测试腔体(21)相连通，样品架(17)固定于真空测试腔体(21)内，电子枪(8)的发射端及离子枪(22)的发射端均插入于真空测试腔体(21)内且均正对样品架(17)上的样品，离子泵(15)及第二涡轮分子泵及机械泵机组(16)分别与真空测试腔体(21)相连通；
该装置能够对材料表面的二次电子产额和相同表面吸附状态下的电子和离子致解吸产额进行系统测试和分析。


2.根据权利要求1所述的跨温区电子/离子致解吸和二次电子产额综合测试装置，其特征在于，还包括用于检测真空测试腔体(21)内残余气体的残余气体分析仪(2)。


3.根据权利要求1所述的跨温区电子/离子致解吸和二次电子产额综合测试装置，其特征在于，还包括用于控制样品架(17...

【专利技术属性】
技术研发人员：王洁，王盛，吴岳，周浩宇，高勇，许章炼，游志明，范佳锟，杜鑫，胡耀程，张静，聂昆仑，罗昊，
申请(专利权)人：西安交通大学，西安核理科技有限公司，
类型：发明
国别省市：陕西;61