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本发明提供的陶瓷电极、具有其的薄膜传感器及该陶瓷电极的制作方法，属于薄膜传感器技术领域，其中，陶瓷电极包括：陶瓷基底、定电极层和支撑结构，所述支撑结构采用电镀方式沉积在陶瓷基底的与所述定电极层所在的同一面上，所述支撑结构与所述陶瓷基底之间具...
该专利属于中科九微科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中科九微科技有限公司授权不得商用。

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