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本发明公开了一种白光干涉仪自动对焦装置及方法，具有窄光谱光源和宽光谱光源两种照明方式，窄光谱光源的相干长度大、对焦范围大、精度低，宽光谱光源相干长度小、对焦范围小、精度高。将两种光源的优势结合起来，先采用窄光谱光源照明，大步长扫描采集干涉图...
该专利属于中国工程物理研究院机械制造工艺研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国工程物理研究院机械制造工艺研究所授权不得商用。

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